应用对象:集成电路与硅片产业对硼要求极高的超纯水处理系统
关键技术:除硼树脂、抛光树脂、除硼阴床
技术优势:
1)硼选择树脂含有多羟基官能团,对于硼酸具有高选择性;
2)双层床的设计及后置的TOC-UV解决除硼树脂TOC溶出的问题;
3)产水B浓度 < 10 ppt,TOC < 2 ppb。
应用对象:集成电路与硅片产业对硼要求极高的超纯水处理系统
关键技术:除硼树脂、抛光树脂、除硼阴床
技术优势:
1)硼选择树脂含有多羟基官能团,对于硼酸具有高选择性;
2)双层床的设计及后置的TOC-UV解决除硼树脂TOC溶出的问题;
3)产水B浓度 < 10 ppt,TOC < 2 ppb。