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洁净室温湿度精确控制技术

通过串级PID控制的方式,将两个控制回路嵌套组合起来,外环回路的输出直接作为内环回路的给定值,内环回路的输出值直接作用在相应的电动调节阀上,从而来实现整个系统的温湿度控制。

目前最高实现精度为温度控制±0.3℃,湿度控制±3%。