洁净室温湿度精确控制技术

时间： 2025-02-07

通过串级PID控制的方式，将两个控制回路嵌套组合起来，外环回路的输出直接作为内环回路的给定值，内环回路的输出值直接作用在相应的电动调节阀上，从而来实现整个系统的温湿度控制。

目前最高实现精度为温度控制±0.3℃，湿度控制±3%。